皮米精度位移測量儀
昊量光電推出的皮米精度位移測量儀quDIS是低至納米范圍位移測量的理想儀器,達(dá)到了*50pm的重復(fù)精度。quDIS支持三個測量通道,使其可以適用于任意多軸測量應(yīng)用。皮米精度位置測量儀同樣采用激光干涉法,不過與傳統(tǒng)激光干涉儀相比,其集成了法珀腔(Reference cavity)及飽和吸收氣室(GC)作為頻率校準(zhǔn)參考,通過激光波長調(diào)諧掃描,比較兩種不同的干涉圖樣,可以實現(xiàn)其它設(shè)備所不具有的
型號: 廠商性質(zhì):代理商
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