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超分辨量子顯微鏡(3D磁電流)

簡要描述:超分辨量子顯微鏡(3D磁電流)提供一種用于異構集成和封裝失效分析的超分辨率量子顯微鏡系統。該技術利用高靈敏度磁電流成像(MCI)提取多層信息,可深入查看集成電路內芯片堆疊的內部結構。

  • 產品型號:
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2025-05-29
  • 訪  問  量:70
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詳細介紹
品牌昊量光電產地類別進口
應用領域綜合

超分辨量子顯微鏡 (3D磁電流顯微鏡)


提供一種用于異構集成和封裝失效分析的超分辨率量子顯微鏡系統。該技術利用高靈敏度磁電流成像(MCI)提取多層信息,可深入查看集成電路內芯片堆疊的內部結構。



超分辨量子顯微鏡(3D磁電流)產品特點:


疊層失效的橫向和深度定位

高橫向/深度分辨率(分別低至200 nm和1μm)、寬視場(高達4 mm)的3D磁成像能力使我們能夠為不同層創建電流圖像,識別短路和真正的開路。


樣品制備簡單

由于磁場可不受影響地穿過cmos材料,因此需要的樣品制備只是de-capping。


強大的QD軟件

軟件利用專門開發的機器學習和后處理算法,可在幾分鐘內獲得結果。


室溫、環境條件、穩健運行

無需特別條件即可輕松識別故障。



            



1. TOP image 顯示了一個樣品的磁場圖,其中3個不同層同時位于不同深度的活動電流。層間距為85μm。




2. Left column(灰色)顯示了從總圖像中提取的各個單獨層。




3. Right column(藍色)顯示了產生磁場的各個層內提取的電流。
















超分辨量子顯微鏡(3D磁電流)參數指標:

系統參數

側向分辨力(xy)達200nm
深度分辨力(z)達1um
視場范圍達4mm×4mm
基底噪聲150nT (DC) (AC可達10nT)
頻率范圍DC-4GHz (AC)
靈敏度10 μT/√Hz (DC),1   nT/√Hz (AC)
測量時間5-10min (type)


一般規格

系統尺寸(W x   L x H)0.7 m x 0.7 m x   1.7 m
系統重量~350kg
XYZ位移臺300mm x 300 mm x 20   mm (行程)
功耗2 kW (max )
制冷方式風冷


**具體使用詳情,可咨詢上海昊量光電設備有限公司。


更多詳情請聯系昊量光電/歡迎直接聯系昊量光電

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