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品牌	昊量光電	產地類別	進口
應用領域	綜合

超靈敏，納米級電容位移傳感器！

原理是利用力學變化使電容器中其中的一個參數發生變化的方法實現信號的變化的。電容位移傳感器由目標和探針兩個傳感板組成電容器。當電容器之間的距離發生改變時，電容器的電容量就會發生改變，使用適當的控制器就會測出兩個傳感板距離的變化。

納米級電容位移傳感器是非接觸式位置測量系統。該系統由目標和探針兩個傳感板組成電容器。當電容器之間的距離發生改變時，電容器的電容量就會發生改變，使用適當的控制器就會測出兩個傳感板距離的變化。電容位移傳感器擁有高靈敏度分辨率可由于0.1nm，頻帶寬可達到10KHz，直線性可到達0.02%。由于傳感器是一種非接觸式的精密測量系統，因此還擁有無摩擦，無遲滯等特點。

電容位移傳感器因具有結構簡單、功耗低、精度高、動態性能好、頻帶寬、高穩定性和非接觸測量等優點，在工業生產和科學研究領域得到廣泛的應用。

上海昊量光電設備有限公司推出的電容位移傳感器主要包括以下幾款產品：

① AU-NX系列電容位移傳感器是基于電容測微原理的非接觸式的位移測量系統。該電容位移傳感器由目標和探針兩個傳感板組成電容器。利用合適的控制器可測量兩個電容板之間的距離，在1.25mm的行程中，分辨率可高達7pm。此外該位移傳感器具有很高的頻帶寬，可達到10KHz，線性度可達到0.02%。由于該電容位移傳感器為非接觸式精密測量系統，因此具有零遲滯、低功耗等優點。此外該系列的位移傳感器可有鋁合金和不脹鋼兩種材質。

②AU-NZ系列位移傳感器的工作原理與AU-NZ系列的相同。它們的主要區別在工藝和材質上不同。AU-NZ電容位移傳感器采用微晶陶瓷和張脹鋼材質，并且沒有粘合劑。這使其擁有熱穩定性，適合低溫使用。

③大量程電容位移傳感器，主要包括AU-NCG-1-AL-UHV，該高分辨率位移傳感器為嚴苛環境條件下設計，工作溫度范圍可以從-200℃到+150℃。采用鍍金陶瓷電容板，行程可達到11000微米，且分辨率可達到0.12微米。在極大的行程中仍然可以保持較好測直線性，線性度可達到0.4%。

主要特點
大行程（11mm）
高分辨率（0.1nm）
高熱穩定性
高直線性（0.02%）
零遲滯
高頻帶寬度（10KHz）
低功耗
操作溫度范圍大（-200~+150℃）

主要應用
精密制造、計量、形變測量、平臺控制、材料測試、顯微鏡、能動光學、精密光束控制等。

主要參數

型號參數		AU-NX				AU-NZ
		AU-NXB		AU-NXC	AU-NXD	AU-NZB	AU-NZC	AU-NZD
Active area（mm2）		22.5		113	282	22.5	113	282
Material		Aluminium / Super Invar				Zerodur / Super Inva
Thermal drift (nmK-1)		Aluminium 230 Super Invar 3				1.5
Short range-S(10pF)	Range	20mm		100mm	250mm	20mm	100mm	250mm
	Noise	<0.001		<0.005	<0.013	<0.001	<0.005	<0.013
	Linearity error(%)	<0.08		<0.05	<0.06	<0.08	<0.05	<0.06
Long range –L (2pF)	Range(mm)	100		500	1250	100	500	1250
	Noise	<0.015		<0.075	<0.188	<0.015	<0.075	<0.188
	Linearity error(%)	<0.08		<0.03	<0.06	<0.08	<0.03	<0.06
Operating temperature	Controller	+10 to +50 ℃				+10 to +50 ℃
	Sensor	-273 to +100 ℃				-273 to +100 ℃

型號參數			AU-NCG-1-AL- UHV
Materials			Aluminium housing with gold plated alumina (ceramic) sensors
Sensor range			11mm
Position noise (rms)			120nm
Uncompensated linearity			0.4%
Probe area			2500mm2
Operating temperature			-200 to +150 ℃

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納米級電容位移傳感器

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