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M-cat磁場均勻性檢測系統

昊量光電新推出M-cat 磁場均勻性檢測系統，可以快速精準的對濺射系統磁控管和磁棒的測量質量精準控制。旋轉磁控管和可調磁棒可以在浮法玻璃鍍膜的濺射過程中進行精確測量和分析及可靠地識別有缺陷的磁控管和磁棒。可以提高層厚的均勻性并且可以避免濺射。

M-cat 磁場均勻性檢測系統主要介紹：

在玻璃或硅上濺射需要高質量標準。即使沉積層厚度的微小波動也會顯著影響層的特性。用于窗戶和立面結構的浮法玻璃在顏色和透射特性方面可能會發生某些變化。作為太陽能電池生產基礎的玻璃涂層厚度的變化會導致電性能的不對稱。

濺射氣體的分壓或磁場可以改變層的特性。由于氣體成分的變化同樣會影響層的成分，因此對于層厚度的調整，僅可以應用磁場的控制和修改。

M-cat 磁場均勻性檢測系統以高精度表征管狀磁控管，使操作員能夠控制濺射裝置中的磁性元件。除了對磁體配置進行精確測量和分析外，M-cat磁場均勻性檢測系統還為可調節磁控管提供幫助，為確保高可靠性，確定了磁控管的幾何形狀（偏轉)。

使用M-cat 磁場均勻性檢測系統可以增加：

M-cat 磁場均勻性檢測系統突出亮點：

MHLS-線性霍爾傳感器主要技術指標：

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