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品牌	昊量光電	供貨周期	現貨
應用領域	綜合

WLI白光干涉顯微鏡及物鏡——三豐Mitutoyo

三豐Mitutoyo新推出具有更高干涉信號對比度，可以同時測高反射率部分和低反射率部分樣品的白光干涉顯微鏡及物鏡。

白光干涉顯微鏡及物鏡——三豐Mitutoyo特點：

● 實現非接觸式3D表面形狀測量和輪廓測量

可利用白光干涉原理實現非接觸式高精度細微表面性狀測量

（例如：3D形狀測量、3D粗糙度測量）

● 不依賴于光學倍率的高度測量精度

即使是低倍率鏡頭，也可使用Z向高分辨力進行測量

● 高縱橫比測量

不依賴于光學系統的NA進行檢測，支持高縱橫比形狀測量

● 抗干擾震動的高穩定性

● 小型輕便

使用一般的WLI系統，測量不同反射率的產品時：

當視野中包含高反射率和低反射率的部分

　1)配合反射率高的部分調整光量時，反射率低的部分會光量不足。

　2)配合反射率低的部分調整光量時，反射率高的部分光量發生飽和，無法測量。

而使用三豐的WLI測量反射率不同地方的測量時，當視野中包含反射率高部分和反射率低部分，光量對準反射率低的部分，也可測量反射率高的部分。

白光干涉顯微鏡及物鏡—— 三豐Mitutoyo產品規格：

貨號		554-001	554-002	554-003
產品名稱		WLI-Unit-003	WLI-Unit-005	WLI-Unit-010
WLI-Unit傳感器測頭	電纜長度	5
	適用物鏡	WLI Plan Apo系列
	成像倍率	1×
	焦距f（mm）	100
	掃描裝置	物鏡掃描儀
	尺寸/質量	108×68×191mm/1.7kg
WLI測量	Z向移動范圍	8000 um
	測量模式	高通量	標準	高分辨率
	WLI測量Z向范圍	2100 um	1900 um	1700 um
	通量 @ 20um范圍	3 s	4 s	6 s
	Z向分辨率	-	4 nm
	Z向重復性	-	40 nm
軟件	WLIPAK	WLI-Unit控制庫SDK、示例代碼、WLIPAK示例GUI
	WLI-Unit校準SW	像素校準
	分析軟件(推薦選件)	MCubeMap
其它	圖像采集卡/PC	Matrox圖像采集卡（標配）/另需準備PC